728x90 728x90 capacitance1 반도체 ) Dram 주요 Process Module - 3 SN(Storage Node) 정의 및 특성 전하를 저장하는 소자인 Capacitor를 형성하는 Process로 Storage Node의 약어이다. 두개의 전극과 유전물질로 구성되며 Refresh 특성에 영향을 주는 주요항목 중 하나로 정전용량(Capacitance)확보와 유전물질의 누설전류(Leakage Current) 감소가 중요하다. 정전용량(Capacitance)확보와 누설전류(Leakage Current)감소 Dram 고집적화에 따른 Unit Cell당 할당되는 면적 감소로 Capacitor 면적도 감소되고 있으나, Rsfresh 특성 확보를 위해 일정 수준 이상의 정전용량 학보가 필요하다. 정전용량은 Capacitor의 전극 면적 및 유전물질의 유전율(Permittivity)에 비례하고, 유전.. 2022. 11. 29. 이전 1 다음 728x90 728x90